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企业单位
等离子清洗机,等离子处理机,等离子刻蚀机,电浆清洗机,电浆处…
山东省烟台市招远市招远市经济技术开发区招金路518号
>> 产品特点
台式小型机,PLC人机自动控制,内部无电极,用于低污染及高洁净材料表面清洗、刻蚀、活化等工艺。
>> 技术参数
◆设备外形尺寸
630(W)×650(D)×420(H)mm
◆仓体结构(合金铝,约30升)
290(W)×290(H)×360(D)mm
◆ 放电电极(内置电容耦合电极)
180(W) ×210(D) mm
◆等离子发生器(韩国KM)
频率13.56MHZ,功率0-300W连续调节,自动阻抗匹配
可选择40KHZ中频等离子发生器(0-300W)
◆控制系统
触摸屏(7寸)+PLC单步法全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件, 并具有手动、自动两种模式
◆真空系统
德国莱宝(Leybold)真空泵 D16C (20m3/h)
SMC截止阀、充气阀,德国(Inficon)压力传感器
◆压力控制
PID闭环自动稳压控制
◆气路系统
2路工艺气体配置,电子质量流量计、针阀,美国飞托克(FITOK)气体管路
>> 相关应用
-光刻胶清洗
-表面改性
等离子清洗机,等离子去胶机
18年专业研发生产
1.等离子表面活化/清洗5.等离子涂镀(亲水,疏水)
2.等离子处理后粘合 6.增强邦定性
3.等离子蚀刻/活化7.等离子涂覆
4.等离子去胶 8.等离子灰化和表面改性等场合
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