MEMS这个名词经常用于描述传感器的种类

MEMS这个名词经常用于描述传感器的种类

应变测量的一个主要问题在于热效应。温度的变化导致敏感元件膨胀或收缩，将引起热致应变。需要采用温度补偿来解决这一问题，温度补偿可以设计在惠斯顿电桥里面。压电应变片对温度变化更敏感，也容易产生更大的特性漂移，在使用过程中必须通过定期校准对其进行补偿。应变片在运动和医疗保健领域得到了广泛的应用，例如用于测试握力的测力计。     MEMS传感器    MEMS这个名词经常用于描述传感器的种类，也用于描述传感器的制备过程。MEMS是一个三维的、微型化的机械和电路结构，微结构的尺寸范围在1～100p．m之间，并采用标准的半导体加工工艺进行制备。MEMS由机械微结构、微传感器、微执行器和微电子组成，所有结构都集成在同一块硅基片上。   目前低成本、超紧凑型、低功耗多轴MEMS传感器的出现导致了消费电子产品器件的快速增长。MEMS传感器已经出现在智能手机、平板电脑、游戏机控制器、便携式游戏设备、数码相机、摄像机等众多消费产品中。在医疗保健领域如血压计、起搏器、通气机和人工呼吸机等设备上也大量采用了MEMS传感器j虽然MEMS传感器种类繁多，但最重要、应用最多的两种是加速度计和陀螺仪，由美国模拟器件公司和飞思卡尔半导体公司生产。