光学技术引入表面形貌测量,非接触测量显微镜

光学技术引入表面形貌测量,非接触测量显微镜

  光学式表面测量技术光学技术被引入表面形貌测量，实现了非接触测量。光学表面形貌测量法可分为光波干涉法、光散射计量法和聚焦探测法。    光波干涉法利用标准参考面和被测表面反射的光束产生干涉，由显微镜将被测面的微观轮廓起伏转换为放大了的平面于涉条纹，然后通过测量干涉条纹的相对变形来间接完成表面轮廓的测量。干涉法主要有相移干涉法、差分干涉法和白光干涉法3种。利用干涉接收的表面测量仪器具有测量信息直观和测量精度高等优点。近年来相移技术在干涉形貌测量中的成功应用，更使干涉技术测量表面形貌的精度和速度有了大幅度提高。但是，由于受到波长周期性的限制，干涉条纹的强弱会随着光程差之间的增加而周期性地变化．它在测量台阶高度超过所用光源波长的四分之一或较粗糙的表面时将显得无能为力。