表面微观形貌表面的微观几何特征分析显微镜

表面微观形貌表面的微观几何特征分析显微镜
      针对精密工程领域纳米级机械加工表面的检测技术问题，加工材料纳米加工表面质量的检测评价方法、评价理论体系、检测仪器、表面表征方法、表面预测的发展。通过各类检测仪器对实际零件的典型检测实例，分析和说明纳米级表面质量测量的重要性、其测量理论与方法的内涵。
      通过表面质量的测量仪器测量方法的对比，分析指出原子力显微镜测量的检测能力、参数指标和技术优势。虽然原子力显微镜在应用上还存在一些理论与技术问题，但其将成为未来超精密纳米加工表面检测的重要手段之一。

表面微观形貌的评价方法与评价体系
    表面微观形貌是指表面的微观几何特性，也称为表面拓扑图像(Surface Topography)，具体指表面所具有的微观几何形状信息，并人为地依据波动间距的大小将其滤波分离出对应于大波动间距的形状误差、对应于微小波动间距的表面粗糙度以及介于两者之间的波纹度三类信息分别加以研究。
    就机械加工表面而言，表面微观形貌是由机械加工过程中的各种加工工序产生的，在很大程度上决定了所制零件的使用性能，直接影响机械系统的摩擦磨损特性、接触刚度、疲劳强度、传动精度、导电、导热和抗腐蚀性等，进一步影响产品质量及可靠性。近些年来，由于工业和科学技术的快速发展，对表面形貌提出了越来越高的要求。因此表面形貌的检测越来越引起人们的重视，特别是超精密表面形貌测量技术成为近些年来最受关注的课题之一。