微传感器含有检测电阻的电极检测分析显微镜

微传感器含有检测电阻的电极检测分析显微镜
    气体传感器    半导体传感器通常用于检测H2、02、酒精和有毒气体如CO等。家庭内CO检测器是半导体气体传感器最普遍的应用领域。典型的气体传感器具有敏感层和敏感基底，被放置在多孔外壳中。敏感层由一层多孔的厚膜金属氧化物半导体(MOS)层组成，如二氧化锡(Sn02)或三氧化钨(WO，)。这一层敏感层被沉积在微传感器上，微传感器含有检测敏感层电阻的电极和一个可以将敏感层加热至200～400。C的加热器。当金属氧化物在空气中被加热至高温，氧气吸附在其晶体表面，使其带负电荷，晶体表面的施主电子转移至吸附的氧分子上，使得空间电荷层带正电，这形成了电子流的势垒。当还原性气体(如CO或H2)存在时，与吸附的氧气层发生催化还原反应，从而降低传感器电阻。氧化性气体如二氧化氮(N02)和臭氧(0、)具有相反的效应，导致电阻的增加。电阻变化的大小与待测气体的浓度相关，并由传感器的微结构和基材的组缈掺杂、敏感层与基底的形态和几何特征，以及传感反应发生的温度(AppliedSensor，2008)共同决定。对于不同的气体或者不同种类的气体，可以通过改变这些参数来调整相应的灵敏度。