测量如角度、直线度和垂直度测量测量光学仪器

测量如角度、直线度和垂直度测量测量光学仪器

激光测量系统概述
    激光测量系统提供给机床制造商和用户机床精度定位必要的基本的测量组成部件，使用补偿数据校正机械的定位误差。其基本系统包括一个激光光源、补偿电子器件、光学器件、电缆及配件。通常需要一台计算机控制系统和光学部件满足机械几何性能的具体测量要求。为了校准，整个系统应能够收集和分析不同的测量数据，包括线性误差、角度误差、直线度误差和垂直度误差。一个线性激光的测量分辨率可高达1 nm。这是测量过程可以实现的高精度，它使用了以精确激光波长为基础的距离测量计算，从而相比其他的测量系统具有更高的精度。两频率激光技术还经常用来消除光束强度变化所造成的种种问题，从而得到更好的鲁棒性和可靠性。激光束基本上沿着干涉仪和相关反射镜之间做相对运动，所以大多数激光测量系统进行的测量是一种线性测量。大多数情况下，干涉测量仪是固定的光纤，角锥棱镜是移动部件。其他测量如角度、直线度和垂直度测量，是基本线性测量实现的特殊应用。在许多激光测量系统中，误差补偿表在激光测量和控制输入获得后可以自动生成。这些表可用于伺服系统。