磨削和抛光加工-获得高质量的表面面形和纹理

磨削和抛光加工-获得高质量的表面面形和纹理
    而非球面表面随着表面位置的不同其曲率半径也不同，需要很小的磨头进行磨削和抛光。这些磨头的质量容易退化而使加工过程不稳定，同时需要精密的机床控制和复杂的校正程序，即使如此，随机产生疵病的可能性依然非常大。另外，能够在500nm范围内达到lnm的测量精度的精密测量方法是必不可少的。由于必须经常采用几个修正循环，光学元件表面的波纹不可能完全避免，而必须设置其公差值。
    表面纹理的质量    小接触面积磨头在加工过程中有确定的工作路径，只能在很小的空间内随机运动，从而导致表面纹理质量的下降。为了获得和球面一样的抛光质量，需要更多的技术改进，例如，抛光时采用更小尺寸的抛光头，从10微米尺寸降到3微米尺寸，采用更小的抛光压力，从而延长抛光时间。因此，相对于抛光相同质量的球面，抛光非球面需要更长的时间。最近，在抛光技术方面有了新进展，例如磁流变抛光技术(合适的抛光液)可以用来抛光各式各样的光学元件表面，同时可以获得高质量的表面面形和纹理。