检查工件的尺寸、平面度、平行度-光学测量仪器

检查工件的尺寸、平面度、平行度-光学测量仪器
光波测量
　　·使用光学平晶检查工件的尺寸、平面度、平行度。
　　·描述激光干涉仪的操作。
　　·掌握关于激光测量的应用。
　　两种最为精确的测量方法是分别使用光学平晶和激光测量。尽管基于不同原理，但它们都是使用单色光光源来保证测量的精确性。光学平晶的测量
　　最为精确和可靠的测量方法之一就是使用光波测量。光学平晶使用单色光来检测工件的平面度、平行度及尺寸。光学平晶就是一块洁净的石英圆盘，被研磨到不平度小于百万分之一英寸。通常使用氦光光源，氦光可以提供光波长度为23．1323μm(O．587 56μm)的黄绿光。
　　光学平晶，是一块非常平的透明圆盘，通常放在工件的表面进行检测。光学平晶的功能表面是靠近工件的表面。它是透明的，可以反射光，因此所有光波照到它的表面上，然后被分成两部分，一部分光波被平晶的下表面反射，另一部分穿过平晶表面由工件的上表面反射。无论这两部分反射光什么时候相互穿过或者干涉，它们都是可见的并产生暗的干涉带或干涉条纹，这种情况只发生在当工件的上表面和平镜的下表面的距离只有半波长的时候。