电镀电极的机械压电式传感器技术的简介

电镀电极的机械压电式传感器技术的简介
压电式传感器  利用材料的压电性质可以检测弹性波或电镀电极的机械谐振，同时还可以直接检测光学镜面的变形等。    至少有三种类型的传感器可用于探测基片内部传播的波：①体波谐振器(大部分由双面镀金的石英蝶或盘构成)；②表面波(SAW)传感器；③薄盘式传感器(SH波和Lamb波)。这些传感器可用于不同场合，但应用最多的还是石英微摆。其作用原理是通过沉积极少量的材料来改变谐振频率，分辨率能达到10-11 N量级。    表面波装置由能进行压电传播的单一或者附有多种材料薄膜的硅片组成，压电体是其中之一，它易于形成弹性波和进行电检测。表面波传感器可以用来测量物理量，如温度、压力等，也可以用来测量气体成分等化学量。因此，人们将某些吸收性化学材料涂在传播表面上来制作传感器。
借助阻断转换器，还可以靠压电效应形成和检测Lamb波等表面波。基片的厚度可以区分出雷利波的形式。当厚度达到声波波长数量级，SH波或Lamb便可以传播。电容式传感器    电容检测传感器是通过两电极间的电容变化来达到检测目的。两电极中，一个是作为参考的固定电极，另一个是具有可变形结构的联动电极。表面的改变或电极间隔变化都可以引起电容变化。在硅和镍上经微细加工而制成的加速度计通常就是由两对这类电极结构构成的。电极间隔的变化可以用差分电路测量