表面形状的质量磨削和抛光检测显微镜

表面形状的质量磨削和抛光检测显微镜

非球面光学元件的基本特点
  表面形状的质量  球面表面具有一个固定的曲率半径，可以采用大接触面积的磨头加工，这些磨头只要正确操作。即使经过长时间的使用，仍具有很好的品质，没有明显的质量退化。另外，这些磨头在随机路径上运动，可以避免元件表面“带状”疵病的产生。因此，即使使用相对简单的机器，都可以加工出高质量的球面表面。
    而非球面表面随着表面位置的不同其曲率半径也不同，需要很小的磨头进行磨削和抛光。这些磨头的质量容易退化而使加工过程不稳定，同时需要精密的机床控制和复杂的校正程序，即使如此，随机产生疵病的可能性依然非常大。另外，能够在500nm范围内达到1nm的测量精度的精密测量方法是必不可少的。由于必须经常采用几个修正循环，光学元件表面的波纹不可能完全避免，而必须设置其公差值。