轮廓仪是测量某点面形高度的仪器分析显微镜

轮廓仪是测量某点面形高度的仪器分析显微镜
    圆锥面和非球面    以前．非球面的功能是球面的3倍．但是其成本却是球面的10～20倍：运用新型加工设备后．其成本变为大约是球面的2倍，但是针对球面的测试方法不能直接应用于非球面。针对长椭球、抛物面和双曲面，可以在合适的共轭位置放置球面或者平面进行零位测试；椭圆体、多项式表达的或自由形式的非球面需要特殊的测试方法。
  设计者应该考虑矢高表中的2～3个点．加工者需要检  查矢高表中所有的标记与单位尺度是否相符。  对于非球面来说，斜度比矢高更重要。    基于独立验证球面面形的3，。卜，蟹·。!或者平面镜，系统可设计为非球面面形的补偿，这利用普通的干涉仪即可。    计算机生成的全息图通过衍射可以生成测试波前。因为它可以通过光刻法生成，并且包含有对准的基准特征，因此，它在实际应用中比零位透镜测量方法更加安全。    利用■‘。  0_．：I．!．㈡J{j。_i，可以测量非球面的局部斜率，而这种方法不是用零位透镜测量法。    轮廓仪是测量某点面形高度的仪器．并将其沿一条线转换成轮廓。接触式(探针)和非接触式(光学式或电容式)轮廓仪可对一个表面进行一条或多条线的扫描。    拼接干涉仪是对多个子孔径干涉测量获得的图像进行拼接，使得每个子孔径的干涉条纹都易于分辨，从而在不损失分辨率的情况下，增加非球面偏离量的测量范围，此时可以与一些数控机床相结合以实现测量。结合亚奈奎斯特采样与内置处理软件．人们近期开发出了