测试设备中使用显微镜检查管芯中结的缺陷

测试设备中使用显微镜检查管芯中结的缺陷

由于大量生产中使用的金属层的硬度较低，只要放错位置，探针头产生的压力就会引起损伤。
    在生产过程的探针测试中，务必使探针头保持干净以保证良好的欧姆接触。清洗办法是将蘸过TaE(三氯乙烯)的棉花签擦洗探针头。
    成品电路的探针测试常使用具有多头探针的探针台。探针头的位置与某一特定电路的热压点位置相吻合。这些探针台可节省调节时间，性能可靠，对电路的损伤最小，并可由操作人员迅速地加以改变。
    探针测试设备中使用两种基本的显微镜。一种是仅显示管芯上金属化图形的标准双筒显微镜；另一种是尚能观察到结结构的金相型垂直照明双筒显微镜。后者的优点是，在探针测试过程中操作人员能检查管芯中结的缺陷。这两种显微镜的工作距离应均为3至4英寸(8至10厘米)。探针头    探针头有几个关键尺寸要求。第一，探针头的半径必须小到足以能探测氧化层内0．4X0．4密耳(10×10微米)的窗口；第二。探针棒应细到足以使相邻探针的间距在1或2密耳(25至50微米)之内；第三，当探针以适当压力压在半导体材料上时，探针头必须形成欧姆接触；最后，探针头应是耐磨的。    探针通常由高级钢材(钢琴弦)或钨制成。探针既可是细钨丝也可是细钢丝(25密耳／0．6毫米)，以承受某些弹簧负荷。探针头可用磨削、腐蚀或焊枪熔融等方法来成形}钨棒一般是磨赳形成探针头的。若要使针头极细(针头半径最小)，可采用腐蚀法。腐蚀设备一般采用浸泡操作，以使探针头加工成细锥形。探针头应一直腐蚀到使它的最大半径小于0．0002英寸。    探针材料的选择应满足获得欧姆接触的要求。按定义，欧姆接触是“在不影响器件有效特性的情况下，为进出半导体材料提供电流通路”的一种接触。接触在电学与力学上都必须是稳定的。