电子显微镜装有精确观察装置研究结晶学衬度

电镜装有精确观察装置研究结晶学衬度
(1)为了使被分析试样准确地放到布拉格位置，则要求扫描电镜装有精确的倾动台。
(2)为了提高成像的衬度效应，最好采用低损失电子信号来成像，这又要求扫描电镜上装有电子能量分析器。
    但上述这些要求，目前只有少数商品生产的扫描电镜才能满足，故有关晶体缺陷的观察技术一直进展缓慢。
(3)电子通道显微像是一种显示电子通道效应的显微图像。它的特点是能显示结晶学衬度，故这种图像常被应用来观察多晶的位向分布状态和分析晶体塑性变形的性质等。
(4)在确定变形金中所形成亚胞的错向角方面，同透射电镜方法比较，电子通道显微术方法具有准备样品容易和不受视场的限制等优点。(5)应用场致发射电子枪作为电子束源，有可能直接观察到晶体中位错。从将来发展来看，如果能把晶体缺陷的观察同其它表面分析方法(如俄歇电子能谱分析法)结合起来，它将会在冶金学研究和表面科学研究方面提供十分有用的资料。