从较小导电率的金属样品定量测量粗糙度光学仪器

从较小导电率的金属样品定量测量粗糙度光学仪器
  光学定量测量粗糙度的能力在一些领域中是有价值的，诸如在危险的和远距离的环境中表面质量自动检测， 这介工作也有特殊价值，缺陷图象能被表面粗糙度的影响所覆盖，除非对光学检测来说缺陷较大，或者缺陷的空间频率图象不同于邻近的表面粗糙度的散射光图象，因此，需要用诸如要相干光系统中所测得的散射光远场图象的特性，来评定系统对缺陷检测的灵敏度。
  目前所用的方法具有若干缺点，主要是在很大程度上依赖于仪器操作者的主观技巧和经验，参考表面或比较样的使用、接触式针轮廓仪或者显微干涉技术，光学反射的一些方法包括试件运动，光束运动或探测器扫描。遗憾的是，这样的测量通常是费时间的限制于较小的取样范围内。
  此外，当从较小导电率的金属样品上反射时，由于相移与表面斜率有关，散射光通常被部分地消偏振了，然而，对导电率很大的样品，在我们的实验中，用线性偏振激光束照射试样，没观察到明显的横向偏振效应，因而，这方面工作也没继续做，最后，机加工金属零件的完工表面，通常其粗糙度是各向异性，刀具的痕迹或纹理方向是有方向性的，决定于刀具相对于工件的运动，这种叠加上的痕迹将歪曲或改变散射光的分布，在我们试验中用的朵加工表面的散射光图象中能观察到这种方向的差异，计算了不对称粗糙度图形的影响，同时，作为这种曲解的模拟，也计算了将正弦变化叠加到高斯随机表面上的综合影响，其结果表明相干光处理方法的应用上有限的而不是万能的，在这方法中，需要进行校正，校正方法与具体的精加工过程有关。