表面质量检验精密仪器-保证精度测量微小尺寸

表面质量检验精密仪器-保证精度测量微小尺寸

  微分干涉法的优点是：具有某种程度以上光程差的光程差变化可以用明显的干涉对比直接地表现出来。
  测量方法与差分干涉的要领相同，但这种干涉法的灵敏工很低，适用于光程差特别大的情况。
  表面质量检验要求保证粗糙度高精度测量的统一，而在表面粗糙度方面的基本测量方法和测量工具国际比对的结果指出，在测量工具制造企业的出厂证书上所宜称的表面粗糙度参数检验的计量指标，往往与实际的不一致，因此，粗糙度测量领域的很多计量统一的任务急待解决，同时，用随机场的特征来表示粗糙度的复杂性和表面不平度单元的微小尺寸，使这些问题的解决很困难，此外，用于测量粗糙度的方法和工具极其复杂，同时，还应该保证能在现场进行测量，但是，毕竟取得了一定的成就，并拟定了这方面工作今后继续发展的主要方向。