金相分析显微镜的物镜并不要求很高的放大倍率

金相分析显微镜的物镜并不要求很高的放大倍率
硅片的对准是用伺服电机使放在光路中的平行棱镜倾斜，以便将十字线的像和狭缝的振幅中心相一致．而掩模的对准采用的是用同样的伺服系统驱动掩模工作台使之返回到平衡位置上的方法．为使左右两台显微镜都能检测出二维的图形，在光路中插入棱镜，形成相互共轭的两个焦面，并装上能分别检测出x方向和y方向标志线的振动狭缝．在上述的例子中，x，Y，0方向的对准可以在2秒钟以内完成，其定位精度虽取决于十字线标志的对比度情况，但在通常的情况下可得到1pm以内的精度．这样，用振动狭缝法可以作成有效的光电传感器．当然由于狭缝的振幅决定了标志线的搜索范围，因此尽管灵敏度和精度很高，但可能检测的范围受到限制，这点是必须注意的．因此，有必要采用某种方法进行粗定位，以便在振动狭缝的搜索范围内找出目标．
    这种方法的特点是显微镜的物镜并不要求很高的放大倍率，如果目标对比度较好，通常使用5×的放大倍率便能以0．1 um左右的重复性实现对准．因而焦深的允许范围也很宽，这在实际应用上可以说是很大的优点．