用电子显微镜实验研究表面缺陷对膜层结构特点

用电子显微镜实验研究表面缺陷对膜层结构特点
 发若干年来，已有大量文章对粗糙度表面的反射作了研究，量仅仅在近十年内，才应用衍射理论对其作了高度严格的研究，有关表面粗糙度的大量工作，过去多是从研究玻璃抛光机理的角度来研究的；所用的光学方法仅是评价粗糙度的一种间接手段，这些理论研究结果量也是可用对前表面反射镜进行质量评论，但直至最近，对于各相邻膜层间可能形成的粗糙表面的影响，却末给予足够重视，
唯一认识到的是，基片表面粗糙度会在膜系各界面复现出来，以致于因漫射而损坏膜系的性能，最近，根舍用扫描电子显微镜实验研究了其片表面缺陷对膜层性能的影响，发现多层膜与单层膜中出现许多结核瘤，究其原因均系表面粗糙度所致，在结核瘤处，表面不是有微痕麻点坑，便是有突疣，这表明基片表面的精细抛光对提高膜系的全面性能是至关重要的。