测量波度和直线度或其他形状表面轮廓曲线测量显微镜

测量波度和直线度或其他形状表面轮廓曲线测量显微镜
针描法是用触针在被测表面上轻轻划过，同时触针随表面轮廓的峰谷起伏而上下摆动，通过测量头中的传感器，转换成电量的变化，再经滤波器，将表面轮廓上属于形状误差和波度的成分滤去，留下属于粗糙度的轮廓曲线信号，送入放大器，遂在记录器上描绘出一段表面轮廓曲线的放大图形，用图解计算法可求出各项
粗糙度参数的数值，或者将放大器放大的信号送入计算器，作积分运算，在指示器中指出Ra值或其他参数值。按针描法原理制成的仪器，叫做表面轮廓(或表面粗糙度)检查记录仪。一般用于测量Rz=0.025-6．3μm。因触针用金刚石制造，针尖半径只有2--10μm，过于粗糙表面会损伤触针，很光表面的凹谷细小，针尖进不去，不能描到。传感器有压电晶体式和差动变压器式，前者制造简易，后者还可用于测量波度和直线度或其他形状误差。针描法测量迅速准确，测量头可伸入小孔沟槽中测量，除了不允许划痕的软金属光滑的表面外，国内外广泛用于测量各种零件的表面粗糙度。