上海光学仪器厂生产的6J型显微镜的应用有哪些-光学仪器

  作者:厂家库小编DFW    2020-03-12    阅读:316

光切显微镜主要用于测量表面粗糙度,还可以测量小槽宽、高度、厚度以及小的倾角。
干涉显微镜
   干涉显微镜的结构原理利用光波的干涉现象,把表面微观不平度以光波干涉条纹表现出来,经放大后进行测量,这种测表面光洁度的显微镜,称为干涉显微镜。    干涉显微镜根据光路系统不同,分为双光束干涉显微镜和多光束干涉显微镜两类,生产中常用双光束干涉显微镜。目前国内使用的双光束显微镜的型号很多,有国产的,也有外国的,但它们的结构原理、基本参数和使用方法基本上相同。我们仅以上海光学仪器厂生产的6J型干涉显微镜为例,

介绍这类仪器的结构原理和测量表面粗糙度的方法。    光学系统由光学干涉系统和光学显微系统两部分组成。光学干涉系统包括聚光镜、物镜、分光镜、补偿镜、物镜及标准镜和物镜。光学显微系统主要是目镜组和照相机。    由光源发出的光束经聚光镜后成为平行光。该平行光投射到孔径光栏的平面上,照明位于投影物镜焦平面上的视野光栏,通过投影物镜后射到分光镜上。分光镜把射到上面的光分成二部分。一部分反射,一部分透射。当被测表面不是理想平面,而是凸凹不平,则干涉条纹发生曲折。干涉条纹的曲折程度与表面的微观不平度有关。例如,在一理想平面上有两条深度分别为0.3和0.15微米的戈Ⅱ痕,用干涉显微镜进行观测时,就会看到这两条划痕引起干涉条纹的曲折刚好是一条干涉条纹和半条干涉条纹。因此,可通过测量干涉条纹的数目或干涉条纹的曲折程度来评定表面微观不平度的高度。

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