测定该机件表面粗糙度光学精密测量工具显微镜

测定该机件表面粗糙度光学精密测量工具显微镜
光波干涉法 - 将一个非常平滑的镜片，紧贴于被测定机件之表面，借光线投射过镜片被机件表面反射，由于机件表面不平，故反射之光波所经历之途径即有差异，因而发生光波干涉现鱼，而在镜面上呈现黑白相问之色带（带），再由色带之距离乘光波波长之一半，即可测定该机件表面之粗糙度。此种测定法，谓之光波干涉抉。光波干涉法，最适宜作0.8一s以上较精密表面之测定，如块规，分屋卡的砧座或主轴滑动面等;较粗糙的表面，用此法测定，并不适宜。
　　光波干涉法所使用的镜片，右之为光学平面镜（光学平）系由石英宝石磨成的圆形镜片，采用石英为镜片材料的原因，乃系由于石英受热胀冷缩的膨胀系数较小，且共质地坚硬，能耐磨耗所致。
　　光波干涉法所使用的色灯，通常均采用充有氦气（氦气）的灯泡，因为此种灯泡可放射绿黄色的光波，而且其波长据测定擭知为0.0005892毫公尺（0.000023211），测定时在镜片上每一黑白相问色带之长度为半个波长，即等于0.0002946毫公尺（0.0000116“）一　　要明了光波干涉法的原理，须先说明光波的形式及其在空气中传播的方式。氦气灯泡所放射的绿黄色光波，其波形成正弦（（正弦）曲线形。光波波形有波举及波谷，波半加波谷的长度谓之波长，波峰加波谷的高度谓之振幅。当两个相位（相位）相同的光