高精度测量显微镜-检验传感器测量头的实际尺寸

一般仪器测量精度不高的参数,测量效率很高

检定坐标测量机常常用标准线纹米尺或激光干涉仪对每个坐标轴(X，Y、Z)位置进行校准。有时也使用量块。常将样板任意放置在工作台上，以便确定三个坐标读数装置的综合误差。
在某些测量机的技术条件中，规定要单独检验坐标轴方向位移的垂直性，因为只检验单个坐标位移，不能确定垂直性对测量误差的影响。在第二类高精度测量机中，通常还备有经过校准盼圆球’用来检验传感器测量头的实际尺寸。其检验方法介绍如下。用测量头的不周点与球面相接触来测量圆球的尺寸。将得到的测头尺寸的数据送入电予计算机。当使用这个测量头时，在零件参数的测量结果中就考虑到了测量头的尺甘。例如在测孔时，这个尺寸构成被测展寸的一部分。 在工艺过程中采用坐标测可以保证有高的效率，首先是对表面和轴的位置这些通常不测量(相信机床精度)或测量精度不高的参数，测量效率很高。