光切式显微镜进行自动测量样品的表面粗糙度

光切式显微镜进行自动测量样品的表面粗糙度

莫尔条纹分布不仅可以求立体形状的等高钱图谱，也可以用来求图谱的坐标值，并进行复制。复制过程是，从各方向拍摄许多等高线莫尔条纹的照片。相对于指定的剖切水平，用计算机求各断面的坐标值，然后求环切状的合成断面图。把这些图形累积起来(等高线累积法和剖切面累积法)就成为原来的形体。此法和前面讲的三坐标测量机比较，是更直接的方法。    目前，正在研究将莫尔条纹用于光切式显微镜上，增加莫尔条纹的景深，可以容易地观察表面粗糙度及微细的表面形状最近研究了利用激光的高相干性，高能量非接触地测量物体的微小变形(位移的分布)的方法。其中，引人注目的是，测量粗糙表面物体的微小变形，物体的热变形及进行非破坏检查等。用光学摄影法测量漫反射面微小位移的方法有全息照相干涉法，斑纹干涉法及斑纹摄影法。下面介绍用电视技术在加工中进行自动测量的斑纹干涉法。    ．    电视系统比摄影系统析象能力低，而斑纹干涉法恰恰可以利用低析象能力的摄影材料，因此斑纹干涉法有可能应用．子电视系统中。