研究精密零件表面粗糙度适合哪种显微镜

研究精密零件表面粗糙度适合哪种显微镜
    被研究零件表面的积分状态的特殊图象，同样可以用二次方或更高次方的圆周、椭圆及其它曲线的封闭几何形状的特性来求算。喷油系统精密零件一般都是尺寸小而刚度大的。零件变形的程度也很小，所以用一般系统的全息照像法测定零件的变形是困难的。在这种情况下，只有改变参考光束和物体光束在全息图上的交角，以及在记录并处理全息图图象之后，稍稍改变照射它的光束的方向来调节它的灵敏度。
    当光束交角对物体移动部分的法线变化时，一般的全息照像干涉测量灵敏度变化的范围，处在由最大值（此时，干涉条纹的级值相当于光波长度的一半）到最小值（此时，条纹的级值接近于无穷大）的限度内。
    这是对灵敏度放大范围的限制。这种情况是当光束（由于表面不平度间距变化，经变化了的表面成各种角度反射的光束）与记录全息图寸的原始状态有偏差时，波场在交互作用—接近于零而产生的。