物理光学比较测量原理设计的光学测量型显微镜

物理光学比较测量原理设计的光学测量型显微镜
物理光学测量法
    物理光学比较测量法，分为光波干涉法和莫尔光栅法．光波干涉法    从同一光源射出的光束，用反射镜或狭缝分为两部分，二者通过不同的光路，然后又相遇。由于两光束有相位差，相遇的两束光便发生干涉。当相位差为半波长的偶数倍时，干涉条纹则明；相位差为半波长的奇数倍时，干涉条纹则暗；若用单色光源，便会出现明暗相间的干涉条纹。光波干涉法是用光波波长为基准，当光通过空气介质时，由于空气温度、气压的不同，光的折射率也发生变化，因此将导致光波波长变化，这样就会引起长度测量误差。另外，由于光波干涉法的灵敏度很高，因此不能忽视振动的影响。光波’干涉法适用于实验室测量。如果使用波带很窄的滤光片时，测量距离一般为lOOmm左右，通常用作比较测量较为合适。    由于出现了亮度高、方向性强和相干性好的激光器，并且在测量方法上做了诸妞光波波长自动补偿等一系列改进，因。此光波干涉法也可在工厂中用于较长距离的测量。激光和普通光相比，光源不是自然发出的，而是受激发出的，因此由光源发出的光，在与光束传播方向垂直的断面内，相位相等，而在光束传播方向上，各点的相位有相应的关系(正弦波)。前者称为空间相干性，后者称为时间相干性．激光方向性好，光束波及全断面，而且相位(即波面)完整。    激光是受激发出，波长范围小，谱线宽度窄，单色性好，很容易与太阳光或其它自然光区别开来。    由于激光的方向性、单色性和聚光性均很好，因此在焦点处具有很高的亮度，可以提高测量精度．利用激光的绕射测量直径    利用激光的绕射测量直径的方法有两种：一种是用不透明的细线产生绕射条纹，求细线直径；另一种是在不透明粗线的直径两边缘(敞开的)产生各自的绕射象，根据象间的距离来求直径。