视频显微镜下计数和测定粒子大小-测量光学仪器

视频显微镜下计数和测定粒子大小-测量光学仪器
粒子测量系统
    污染控制的一个基本任务就是计数和测定粒子大小。必须采取某些测定粒子的方法来确定产品表面及其制造环境的粒状物质控制是否有效。    当然，检验产品表面有无粒子存在是最直接、最典型的测量方法。在显微镜下用肉眼观察，不仅可以定量地提供粒子的情况，而且可以直接辨认出粒子的类型。用这种方法进行识别是消除粒子源的第一步。
    生产高灵敏产品的环境应尽可能没有尘粒。现在已有一种能瞬时测量液体或气体粒子含量的仪器。用这些仪器可以鉴定各种类型的液体处理过滤器是否完善，并可用来测定新环境的绝对质量。本章将讨论制造微电子器件所用的方法、仪器及其优缺点。
检查方法的选择
    在选择检查粒子方案时，首先应考虑为什么要进行检查。  需要解决的问题有：在空气或液体工艺环境中，粒子大小的分布；识别引起特种产品失效模式的粒子；找出粒子计数变化的时间，从而改进生产工艺。需要获得这些参数的原因是为了要确定采用哪些方法最好。
    对空气或液体环境中的粒子，或是以某种方式收集起来并送到实验室的粒子都应进行分析。一般的电子粒子计数器都能够完成状态测量。  如果这种仪器买不到，或者所分析的粒子类型不是原来需要的，就必须收集成批试样。  一般让粒子在重力作用下从环境中落下，或使试验液体流过适当的过滤器。    如果要进行瞬时测量，重力法和撞击法都是不合适的。  然而要测定粒子大小，并对粒子进行识别，这些收集方法也是可以的。