光学显微镜检验产品或过滤面是测量粒子粒径

光学显微镜检验产品或过滤面是测量粒子粒径
多数情况下这种输入装置是一个光学显微镜，检验大物体可用投影系统，观察小样品可改用电子显微镜。图像形成后，通过光导摄像管扫描器产生象素，继而成为电脉冲，然后将电脉冲送到逻辑电路，再由电路提出有关参数的分析图像。  适当的检出与一定的灰色电平图像、背景反差均有关。采用阈控制可获得最好的检出。信息经过分析，就可以原来的形式再次显示在监视器上。同时，这种数据直接进入计算器、绘图器以及其它的记录／计算装置。
    用这些仪器可测量粒子系列的任一种参数，最通用的参数是长度的个数、面积和类型，其它参数包括形状、光密度和周长。
    自动图像分析器是粒子检验的大型辅助设备，它的计数极其精确。  目前，粒径和面积的测量可以过去手工所不能完成的速度重复进行。空中粒子测量
    虽然显微镜检验产品或过滤面是测量粒子污染最有效的方法，但是，如不采用自动化，这些方法就既繁琐，又浪费时间。光散射粒子计数器的研制成功使瞬时测量成为可能，气体的物质粒子含量降到0．3微米，液体降到2微米。当然，由这类仪器所取得的表面洁净度的资料是第二手的。  可以这样假设：如果产品只是在洁净环境中暴露，那么，从该环境落到产品表面的粒子数为零。连续监视产品周围环境，对引起产品表面污染的环境洁净度进行瞬时识别。  光散射粒子计数器可对长时间特定位置作连续自动监视，所得数据的分析只是一项必要工作。由于光散射粒子监视器很重要，并且应用广泛，所以将详细地讨论这类设备。对测量气体中粒径小于0．3微米的两种仪器进行简要评述。
    光散射粒子计数器    传感器基础  光散射粒子传感器是把粒子散射的光作为检测机理。这个概念是以奥·凯斯基等提出的米埃(Mie)理论和实验为基础、  简言之，在一定范围内单个粒子的散射光与粒径的平方成正比。市场供应的仪器都是利用强光灯的光束，它是聚焦在暗室