金属化的板样品高倍油镜能分辨更细的特征

  作者:厂家库小编CJK    2020-03-12    阅读:910

金属化的板样品高倍油镜能分辨更细的特征
    在钻孔并已金属化的板上涂援抗蚀剂可以用几种方法来实现.多年来丝网印刷一直是主要的工艺;然而,它受到可制作的最小特征尺寸的限制.尽管丝网印刷方法性价比很高,但是与其他抗蚀剂涂覆方法相比它具有相对较长的准备时间.
    涂覆抗蚀剂的其他方法一般与光致抗蚀剂有关。这些方法包括,千膜抗蚀剂的辊涂、液态抗蚀剂的浸印以及电泳涂搜法。后一种工艺与电镀工艺很相似,差别在于镀的是聚合物膜而不是金属膜。
    干膜辊涂是一种最常用的方法,因为该方法相对简便和清洁.它也适用于目前许多先进产品所需要的制造细线条电路图形。除了在抗蚀剂徐援上的差别,根据它们的曝光原理和化学性质还可分为两种不同类型的抗蚀剂,即正性抗蚀剂和负性抗蚀剂。尽管前者适用于分辨更细的特征,但一般不如后者常用。对于正性抗蚀剂来说.曝光的部分被显影去除,而对于负性抗蚀剂来说情况刚好相反(即光线射到的表面.显影之后依然保留)

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