显微镜下微电子学表面分析图像分析计量软件

显微镜下微电子学表面分析图像分析计量软件

    术语在多数情况下污染杂质必须用数量表示。使用术语对一定的问题是有意义的。杂质一般都是以上述材料的浓度来表示。例如百分比，多数是百万分比（ppm ），有时也用十亿分比（ppb ）。这种表示法对原材料杂质的均匀分布是适用的。杂质范围已有规定的原材料的检测，采用这种表示式也是可以的、用ppm 表示浓度，也就是说多数材料的杂质是均匀分布的。在显微镜下通常就不是这样，这种变化在微电子学中非常重要
    能否测量表面污染，并计算表面污染物的数量，这是涉及微电子学检验化学的重要问题。所谓“百万分之一”必须包括材料体积的计算而且考虑所测杂质和体积的关系。不能用它代表表面浓度。
    粒子往往被认为是表面污染物的点源。这种点源在微电子学中有很大影响，然而，器件的性能并不取决于污染物的总平均浓度。即使用显微镜观察，粒子对有源集成电路的部分区域有影响，似乎在那个区域这种元素出现了100%的浓度，实际也的确如此。从分析的观点来看，如果用仪器在衬底上分析土微米。