电子显微镜特别适于对高温过程的高分辨率观察

电子显微镜特别适于对高温过程的高分辨率观察
    另一方面，微观结构的衬比可以采用合适的光学布置而加强，例如，在偏振光下观察，利用相差衬比、干涉衬比，或者暗场下观察.在最后一种布置下，表面凸凹的轮廓在掠射光下被显示出来(比明场的垂直光下清楚).利用干涉显微镜可以定量测量表面起伏，它的竖直分辨率可以达到所用波长的1/20左右(在多光束干    采用电子波可以使用直接反射对微观结构进行观察，得到较高的分辨率.
在反封电子显微镜中的一束掠射电子束打到样品表面上，散射电子主要在对表面法线对称的方向上，这样就可用它们形成放大了的象分辨率约为几百埃，但由于观察面是倾斜的，表面象的畸变是很严重的.发针型电子显微镜能够避免这种缺点，它利用在垂直样品表面方向上直接放出的次级电子形成象.除用热发射外，紫外光也是可利用的一种初级激发辐射，在热发射情况下，这种电子显微镜特别适于对高温过程的高分辨率观察.
    与前述的各种显微镜相反，扫描电子显徽镜不用电子光学放大，而是用极细聚焦的电子束(直径>200入)’扫描样品表面.所产生的次级电子束被放大，并用于控制电视显象管上的亮度，次级电子束的扫描系统是与初级电子束扫描系统同步的
由于光程的非对称性，亮度，也就是从样品上一个特定点发射的次级电子束的强度依赖于那里的表面起伏和材料性质.