超精加工和软金属表面测量粗糙度轮廓仪

超精加工和软金属表面测量粗糙度轮廓仪
    用来把触针的位移量变成电流或电压的传感器有两种基本类型；
    微形貌图仪——由于超精加工和软金属表面测量的需要以及产生轮廓的仪器可以进行分析的优点，致使人们去探索一种非接触式的轮廓测量仪，
    目前作者在研制一种形貌图仪，这装置利用宋一个事实，即在非常靠近导电表面处安置一个尖锐的触针，在相对于表面具有一定的电位差情况下，放出场致发射电流，它对于发射极和表面间和距离非常敏感。
    仪器粗调后，通过给压电陶瓷元件施加电压而产生运动，压电陶瓷的长度与驱动电势成正比地增加，发射尖端半径为10 -500nm 的场致发射体，通过X 和Y 方向的压电的驱动装置在试样表面上扫描，一恒定电流流过发射体尖端，在发射极表面建立起一个固定的电场，由于被测表面（试样）靠近发射极。
    在实际运行中，测得发射极到试样之间的电压并反馈到伺服系统，把适当的电压供给Z 向压电驱动装置并使发射极到试样到试样的电压保持恒定，这样就使发射极至试样的间距保持不变，因此Z 向压电陶瓷的电压便直接和发射极位置相对应，并且可用以测读出轮廓。