试样的光学观察及微动实验测量工具显微镜

试样的光学观察及微动实验测量工具显微镜
设备与实验方法    本实验采用的设备由以下几部分组成: (1)电源及电子光学系统，(2) X线分光及检测系统，(3)试样的光学观察及微动系统，(4)X线强度测定及记录系统，(5)电子扫描系统。
电源及电子光学系统    由稳定性非常高的3^50 kV的高压发生装置(常用的为10^-30kV)、放射出热电子的电子枪、限定入射电流量的会聚透镜、用以使试样上的电子束直径缩小到1 微米以下的物镜以及象散校正装置等组成。另外，相对于试样的电子束的入射角为直角。
    使电一光学系统的电子束与阴极射线管的射线同时在X-Y方向上扫描，通过标识X线、电子束(反射及吸收)的强度信号，调谐阴极射线管的亮度，从而可以得到表面的情况。