极细晶粒复型电子金相定量分析显微镜

极细晶粒复型电子金相定量分析显微镜

    用复型定量评定组织用复型电子金相法进行研究时，由于放大倍数高，可对组织元素的尺寸(极细晶粒、弥散质点)进行定量评定。在这种情况下，尤其是当质点比沉积层厚度小时，阴影溅射角的选择应特别仔细。根据已知的阴影溅射角以及阴影的长度可以测定凸起处(组织元素)的高度。
    为了更准确地测定滑移台阶的高度，在阴影截射处理之前在复型上放上尺寸较大且直径严格相同的橡胶球。台阶高度通过按橡胶球所引起的阴影长度变化(由于形成滑移痕)进行计算。
切割和磨削方法
    通常，适用于内部具有空间的试件。这种方法是为了“冻结”试件的内部缺陷(游离的微片或不完全的相互连线等)。首先，将最初封装的封盖削得相当薄;其次，用微型钻头或锋利的刀具在封盖的两角处开孔;最后，从一个孔注入热固性环氧树脂(另一个孔起排气口的作用)。待树脂硬化后，去掉封盖的剩余部分。用这种方法不可能做许多试验，但是对于作为分析对象的污染的表面及微面附近，通过磨削、