微装配与微操作的特点是定位精度高-工业显微镜

微装配与微操作的特点是定位精度高-工业显微镜
机器人子系统
    微装配与微操作的特点是定位精度高，对于微米尺寸的器件，它的定位精度要求达到纳米量级。与传统的工业机器人相比，微装配与微操作机器人有两个显著的特点:其一，机器人的自由度减少，通常为三个自由度，即只有位置自由度而没有姿态自由度。为了增加操作的灵活性，一般用微运动平台与机器人协作完成复杂的操作。机器人与运动平台的自由度总和为五个。对于复杂的操作，也可以在机器人的末端增加一个旋转自由度，使系统的自由度达到六个。在微装配和微操作系统中，本质上是将机器人的多自由度进行了分解，一部分自由度由机器人完成，另一部分由运动平台完成，从而
提高机器人和运动平台的精度。所以在系统中，运动平台一般是必须的。其二，在机器人的设计中抛弃了传统的机械传动方式，也不用伺服电机进行驱动，而是采用
压电陶瓷或超声电机进行直接驱动。压电陶瓷驱动的特点是精度高，可达到纳米定位精度，但它的缺点是行程小，一般采用蠕动式机构来克服这一问题。
    有的文献中采用串一并联的结构形式设计机器人，串联部分采用传统的传动方式，利用步进电机驱动，并联部分采用并联机构，利用压电陶瓷驱动，这种结构虽然能够增加机器人的自由度，增加了行程，但机构复杂、控制困难，同时由于传动链长，精度反而会下降。