刻蚀时间烘温度、粘附力测量显微镜

刻蚀时间烘温度、粘附力测量显微镜
     一般来说后烘会引起抗蚀剂一定量的收缩，在抗蚀荆和掩膜层的界面尤为严重。这种收缩使抗蚀剂内部产生应力，引起抗蚀荆破碎、裂纹、脆裂等现象，使其抗蚀性能下降，钻蚀现象严重。因此建议后烘温度一般应低于120℃，这样可避免后烘产生的不利影响。实验证明在90℃条件下后烘，抗蚀剂仍然很稳定，抗蚀挫也很好。经过太量的试验已经确认正性抗蚀剂的典型收缩温度在110℃左右，这一温度正好略低于抗蚀剂发生热流动的温度。当后烘温度超过125-130℃，抗蚀剂的脆裂、热流动和化学反应等问题搅和在一起，给刻蚀后的去胶带来了困难。5．8抗蚀性能的测量    本节主要讨论影响抗蚀剂与衬底之间粘附力的几个关键因素。后烘是改善抗蚀剂与衬底粘附力的方法之一。后烘要考虑的第一个问题是后烘温度与抗蚀性能之间的关系，用一张简单的图表可以表示后烘温度和常用的刻蚀剂的抗蚀性能之间的关系，对予铬和其他掩膜材料来说这种关系可作为一种示范。样品的后烘温度在90～180∞之间，然后将样品置于铬或者氧化铁的腐蚀液中，或者放在带有某种刻蚀气体的等离子休中，刻蚀时间与常用的瓣蚀时间相同0然后测量抗蚀剂的厚度损失，采用这种方法，羲俯可以决定采用怎样的后烘条件以获得最佳的抗蚀性能。    ’  ：    后烘要考虑的第二个间题是后烘温度和掩膜层与抗蚀剂间的。结合力之闻的关系。选择样品的后烘温度为90--'160℃，在湿法或者干法刻蚀中的刻蚀时间相同，然后测量线宽，获得后烘温度与粘附力函数的关系，从而得到最佳条件。应该看到，钻蚀情况与后烘温度、粘附力有着直接的关系。开始时，粘附力随温度增‘加而增加