集成电路的测量设备光度计-测量仪器的应用

集成电路的测量设备光度计-测量仪器的应用 ．    超大规模集成电路的测量设备包括绝对和相对测量设备。绝对测量设备包括美国国家标准局的光度计和激光干涉仪、美国国家标准局的扫描电镜和激光干涉仪、带有光度计的尼康(Nikon)掩膜泓试设备和线性编码器，它们都与基本的测试标准相结合。相对测量设备用相对标准来校准，然后再将样品与这个棍对标准进行比较。相对测量设备包括电视系统、十字叉丝目镜、像切显微镜和光度计等。但不管标准制定得如何细微，不管测量设备的分辨率如何高，泓量误差仍然始终是一个主要问题。测量误差的主要来源是。    1．  不同的操作者对图形边缘位置的判别和聚焦好坏的判别是不同的，    2．  在参数测量培训中的不适当培训所造成的影响I    3．  关予测量技术的先入为主的错误概念I    4．  泓量系统中的图形套不准，    5．  振动；    6．  光一光或电一光系统中能量强度、聚焦元件位置的变动。    7．电气方面的变动，    8．  测量系统相对于所用标准的非线性，    9．  由一个测量设备转移到另一个测量设备时，测量结果的互换性较差。    在测量过程中，我们可能会遇到各种测量现象，例如邻近效应现象，确定同一个边缘位置却存在不同的光学阈，或者根本就不清楚什么是确定边缘位置的光学阈等等。这些现象的出现使我们认识到，为了进行线宽校准，应该在整个被测区域内，使用许多宽度来分别测量线宽和线间距