微结构具有由微结构形状-硅微机械部件

微结构具有由微结构形状-硅微机械部件
      微机械加工技术的迅速发展也导致了微执行器的诞生。这就使得制作硅微机械部件成为可能。
    微机电系统技术的发展将使人类认识和改造世界的能力取得重大突破，给国民经济和国防建设带来深远的影响。在不断完善本领域的设计与加工制造技术的同时，也为新的研究领域的开拓奠定了基础。    微机电系统的定义与内涵    微机电系统的概念是在20世纪末被提出的，它一般泛指特征尺寸在亚微米至亚毫米范围的一种功能装置。但是目前关于微机电系统的定义还没有统一的确切形式，美国、日本、欧洲由于各自发展微机电系统的途径和技术条件不一样，所以各自的定义也各不相同，美国一般称其为微机电系统，日本一般称其为微机械，欧洲则称其为微系统。    美国北卡罗莱纳微电子中心(MCNC)对微机电系统的定义是：微机电系统是由电子和机械元件组成的集成化微器件或微系统，它是采用与集成电路兼容的大批量处理工艺制造的，并且尺寸在微米到毫米之间。它将计算、传感与执行融合为一体，从而改变了我们感知和控制自然界的方式。    日本微机械中心的定义是：微机械由只有几个毫米大小的功能元件组成的，它能够执行复杂、细微的任务。    欧洲NEXUS的定义是：微结构产品具有由微结构形状提供的技术功能。微系统由多个微元件组成，并作为一个完整的系统进行优化，以提供一种或多种特定功能，在许多场合包括微电