SEM应用于表征电镀层立体显微图象-测量表面形貌仪器

SEM应用于表征电镀层立体显微图象-测量表面形貌仪器

扫描电镜(SEM)一一扫描电镜是
　　一种飞点扫描类型的仪器，其分辨率介于透射电镜和光学显微镜两者之问，提供了SEM应用于表征电镀层性能的说明事例．扫描电镜的对比度受到许多因素的影响，二次电子的数目强烈地取决于探测区域的斜坡，甚至更强烈地由试样上所出现的尖锐刃边而定．试样表面上的电场由于邻近电极的电势而引起在突出部位增强发射．产生二次电子的效率取决于：电子束撞击表面处特定元素的状况、检晶器外露出的表面积、有无吸收层及其工作特性等．对比度的变化率取决于放大器的增益系数．由于这些原因，非常不利的情况是把刃边和亮的以及暗的区域错误解释为形貌的信息．立体对偶是基本的要求，即使对显微图形作较好的定性解释也如此．下功夫分析成对的立体显微图象可以获得定量信息．
形貌图的分辨能力
　　用于测量表面形貌仪器的实用性，取决于它能同时测量水平方向和垂直方向两点之间的间隔的能力．形貌图的分辨能力是由所用仪器的水平和垂直分辨率的乘积决定的．表丑列出了在典型的工作条件下，上述仪器的水平、垂直和形貌图的大致分辨能力．包括透明电镜的参数可供参考．注意：所有现用仪器都有1000平方nm左右的形貌图分辨率．


　　用什么仪器能最方便和最经济地测量出被测零件的表面形貌?用什么尺度去衡量它?若要使零件正常地工作，什么表征参数或函数是主要的测定项目?应该依据算术平均值、峰点计数、平均波长、最大峰谷高度或支承面积曲线来分类?为获得所期望的表征特性，需要对仪器的输出信号作什么分析?在不妨碍实现零件功能的条件下，所选用的表征参数的允许界限是多少?为修正超差的零件，在制造工艺方面会引起多大变革?